可延展柔性光子/电子集成器件及转印技术
Abstract
基于无机半导体材料的光子/电子集成器件, 是现代信息系统的重要组成部分和基础支撑. 人与信息的交互融合是信息技术的主要发展方向, 这种新的信息交互手段对电子集成器件提出了可延展柔性化的需求, 以实现物理世界、信息数据和人类社会资源的综合利用. 可延展柔性化的集成器件, 可突破传统刚性无机集成器件不可变形、无法与人体曲面环境集成的瓶颈, 极大拓展了传统半导体器件的物理形态及应用范围, 也必将在健康医疗、脑机融合、物联网等领域产生巨大影响. 本文对可延展柔性光子/电子集成器件的基本原理和设计方法进行了详细介绍, 并以大脑、心脏和皮肤可集成的可延展柔性无机电子集成器件为例展示了其在生物医疗方面的应用价值, 然后介绍了可延展柔性光子/电子集成器件的转印制备技术, 最后展望了其未来发展方向.
