基于<bold>DBD</bold>的均匀大面积等离子体射流研究
Abstract
为了在标准大气压下获得均匀的大面积等离子体射流, 本文提出了一种新的共面介质阻挡放电(Dielectctric Barrier Discharge, DBD)结构. 该结构由两个同轴环形介质管形成放电气隙, 通过管外金属膜电极施加交流电场形成气隙内的介质阻挡放电, 并以此为基础实现了均匀的环形射流, 其覆盖区的直径为<sc>12 mm,</sc> 厚度为<sc>2–3 mm.</sc> 本文研究了所提出结构的放电特性、等离子体射流发展过程, 诊断了电子温度、电子密度等参量. 研究结果表明, 本文所获得的大面积射流其物理特性与传统的小管径DBD射流基本一致, 认为大面积射流的物理发展过程为大量“正电晕放电”相互耦合推进过程. 通过实验, 进一步研究了电极结构和气隙结构对大面积DBD等离子体射流特性的影响, 并提出了大面积DBD等离子体射流的优化原则.
