离子束技术：从缺陷调控到原子级掺杂
Abstract
二维材料以及其他新型材料的出现为传统半导体行业注入了新的动力，传统化学合成与加工方法往往难以实现材料性能的精准调控，尤其在纳米尺度上易引入不可控缺陷且易破坏材料本征特性。离子束技术凭借其独特的原子级操控能力与高精度加工的特性，有望成为新材料与器件研发中的关键手段。本文旨在系统综述离子束技术在缺陷调控、原子级掺杂以及器件性能优化中的最新进展，从离子束能量角度总结不同能量离子束目前的应用现状，重点介绍低能离子注入在二维材料中的应用，最后总结了低能离子束在二维材料领域面临的困境并展望了团簇离子束在二维材料领域巨大的应用潜力。
